场发射扫描电子显微镜SEM  Sigma 360是由德国蔡司制造，采用肖特基热场发射电子枪及GEMINI电子光学系统设计，束流稳定性高，优于0.2%/h，低电压分辨率优异，GEMINI物镜无漏磁设计可完成磁性样品高分辨成像，具有广泛的样品适用性。仪器配置的In-lens探测器、SE2探测器、BSD探测器可对样品进行高分辨率的极表面形貌表征、高景深的立体结构表征、不易荷电的成分衬度表征。配置牛津能谱探测器，接收不同元素（原子）发出的特征X射线，识别元素（原子）种类，可实现元素定性定量分析，具有点扫、线扫、面扫的分析模式。