想看清材料表面的“肌理”？想了解芯片里的“微小电路”？想探究电池工作机理的奥秘？扫描电镜带你“穿越”到纳米尺度，用镜头揭开微观世界的神秘面纱。超高分辨率成像，洞悉肉眼不可见的精彩。科研不设限，微观有乾坤，快来预约体验吧！
场发射扫描电子显微镜SEM Sigma 360是由德国蔡司制造，采用肖特基热场发射电子枪及GEMINI电子光学系统设计，束流稳定性高，优于0.2%/h，低电压分辨率优异，GEMINI物镜无漏磁设计可完成磁性样品高分辨成像，具有广泛的样品适用性。仪器配置的In-lens探测器、SE2探测器、BSD探测器可对样品进行高分辨率的极表面形貌表征、高景深的立体结构表征、不易荷电的成分衬度表征。配置牛津能谱探测器，接收不同元素（原子）发出的特征X射线，识别元素（原子）种类，可实现元素定性定量分析，具有点扫、线扫、面扫的分析模式。仪器参数及其他附加功能与典型应用
1.1分辨率：0.9nm@15kV， 1.3nm@1kV；
1.2加速电压：20V～30kV；
1.3放大倍数：10~1,000,000X；
1.4样品台马达移动范围：125mm（X方向），125mm（Y方向），50mm（Z方向），-10～90°（倾斜），360°（旋转）；
1.5最大样品尺寸：直径235mm（XY平面内可全部观察到）。
配置专业的真空转移盒，可以测试惰性气氛中的样品材料如锂电池正负极材料等。
仪器开放培训预约，可联系管理员进行培训，也可以委托测样。
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杨老师（电话：18896544725）
设备信息：仪器型号蔡司sigma360
xmu.edu.cn